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乐虎国际下载-PSS AOI检测设备

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乐虎国际下载-PSS AOI检测设备

AOI外观检测机采用自研官方网镜头、高性能工业相机和高精度STAGE平台,具备业界领先的检测性能,用于4〃或6〃PR片、PSS片和官方网站抛光片的官方网站检测和反射率测量,具有镭刻码识别、官方网站检测及分类、反射率测量及分类、官方网站显微复查、官网分档、光刻胶厚度测量等功能;复合功能可以减少人力、设备场地、搬运次数以及总成本。

主要技术指标:

  • 适用于平片,PR, PSS及Epi外延片

  • OCR,AOI,反射率,PR厚度及官方网站review功能

  • 带有自动聚焦系统 – 可以检测翘曲wafer

  • 自研官方网镜头: NA ~ 0.3,FOV ~18mm

  • 最小官方网站检测能力:1.3μm x 1.3μm

  • 官方网站检出率 ≥ 98% 2微米及以上官方网站

  • 官方网站误检率 ≤ 1%

  • 官方网站重复性 > 95%

  • 镭刻码识别率 ≥ 99.9%

  • 官方网站和反射率同时检测产能 ≥ 130片/小时(4 inch)

  • 可识别官方网站类别:MicroDefect、MacroDefect、Scratch、SpinPR、LocalDefocus、EdgeDefocus、Shotline、Degumming等。

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